方阻测试仪的结构及原理

更新时间：2014-10-14

浏览次数：2844

1.KDY1A便携式电阻率测试仪是用来测量硅晶块、晶片的电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。

本仪器按照半导体材料电阻率的及国家标准测试方法有关规定设计。

它主要由电器测量部份（主机）及四探针头组成，需要时可加配测试架。

为减小体积，本仪器用同一块数字表测量电流及电阻率。样品测试电流由高精度的恒流源提供，随时可进行校准，以确保电阻率测量的准确度。因此本仪器不仅可以用来分选材料也可以用来作产品检测。对1～100Ω·cm标准样片的测量误差不超过±3%，在此范围内达到国家标准一级机的水平。

2、测试仪结构及原理

测试仪主机由主机板、前面板、后背板及机箱组成，数字表、测试电流换档开关、电阻率/方阻转换开关、校准/测量变换开关以及电流调节电位器均装在前面板上。后背板上只装有电源插座、电源开关、保险管及四探针连接插座。机箱底板上只装了主机板。前后面板与主机板之间的联接均采用接插件，便于拆卸维修。

KDY1A型电阻率测试仪的基本原理是恒流源给探头1.4探针提供稳定的测量电流I，由2、3探针测取被测样品上的电位差V，