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测量范围(nm) 峰值波长(nm) 量 程 主要用途 辐照度 曝光(辐)量 350—1050 半 宽400—1000 999 mW/cm2 9999.9 MJ/m2 材料老化 320—400 365 9.99 mW/cm2 999.99 mJ/cm2 印刷、光刻 380—460 420 9.99 mW/cm2 999.99 mJ/cm2 印刷注:表中所列为常用波段和量程,用户选购仪器时要首先确认工作波段以及量程。用户也可选择其它波段,例如峰值波长为313nm或340nm,但是要提前就主要技术指标与技术部沟通,双方确认后再签购销合同。定制产品原则上不予退货。
光辐射自动测控仪可广泛应用于材料老化、紫外杀菌、光化学、大规模集成电路光刻等领域。